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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
全自動減薄拋光一體機
TGP-3350
該設備適用于8-12英寸晶圓的減薄和拋光，全部采用氣浮主軸和氣懸浮轉臺設計，具備自動測厚，集成晶圓校準等功能，全自動上下片，干進干出。
  • 最大晶圓尺寸

    12英寸

  • 減薄主軸功率

    7.5 kw

  • 減薄主軸砂輪尺寸

    OD303 mm

  • 拋光頭尺寸

    OD450 mm

    • Features
    產品特點
    全自動系統
    全自動上下片，干進干出
    功能全面
    自動厚度測量，集成晶圓校準，清洗，甩干等功能
    兼容性好
    適用于8-12英寸硅晶圓的減薄和拋光加工
    配置豐富
    全部采用氣浮主軸和氣浮轉臺設計
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